造价超21亿元!阿斯麦向英特尔交付首台高NA EUV光刻系统12月22日消息,据媒体报道,荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦(ASML)确认,向英特尔交付首台高数值孔径(NA)的极紫外(EUV)光刻系统。 光刻机英特尔阿斯麦